Bu, yüksək vakuum mühitində bir növ distillədir, materialın molekulyar hərəkətinin sərbəst yolunun fərqi üçün, istiliyə həssas materialda və ya yüksək qaynama nöqtəsi materialında distillə və təmizlənmə prosesində aparılır. Qısa yol distilləsi əsasən kimyəvi, əczaçılıq, neft-kimya, ədviyyat, plastik, neft və digər sahələr.